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中国科学院声学研究所专利：一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所专利：具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所专利：一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
2017光学MEMS和纳米光子学国际会议（2017 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics）
2017 光学MEMS和纳米光子学 国际会议
2017/7/17
The 2017 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), will be held August 13-17, 2017, in Santa Fe, New Mexico, USA. The conference will be hosted by NIST and co-sponsored by NIST...
2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN)
nanophotonics nanophotonic devices
2016/7/21
It is our great pleasure to invite you to participate in the 2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), to be held on 31 July‐04 August 2016, in Singapore.
The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary t...
微腔角速度传感系统是新一代光学传感器的代表。提出一种面向角速度传感系统的微球腔，其中微球腔作为核心部件直径约为1mm，根据测量及相关公式计算，半高全宽为10.5MHz，自由谱宽65.89GHz，Q值1.84*107，精细度为6.26*103。微球腔特有的高Q值、高分辨率、制备简单等性能，使其具有长远的发展前景。本文详细介绍了整个系统的工作原理，并通过使用不同波形、不同频率的扫频及调制信号进行实验，...
现代电子战，为了具备更强的防御和进攻能力，对其中的射频器件提出了宽带指标的要求。本文以此为背景，在理论分析的基础上设计了一种应用于12.5~50GHz频带的超宽带双膜桥式MEMS开关，该开关具备低损耗、高隔离度等特点，文中给出了开关的制备工艺，并进行流水完成了芯片制备。经测试，该开关在设计频段内，回波损耗优于20dB，插入损耗典型值0.3dB@12.5~35GHz，优于0.5dB@45GHz，隔离...
新型三维MEMS矢量水听器的设计
矢量水听器 MEMS ANSYS 仿生
2014/4/18
根据国内对高灵敏度、低频小体积三维矢量水听器的需求，提出了一种仿鱼侧线纤毛的MEMS三维矢量水听器。该水听器采用多纤毛结构分别用来接收X、Y与Z方向的声信息，采用ANSYS进行仿真，静力分析得出了布放压阻的合理位置,谐响应分析得出该结构的固有频率在1.5KHz左右；驻波桶校准测试结果表明：该水听器的灵敏度范围在-200dB到-180dB左右；在25Hz-2000Hz频段内具有良好的频响特性；指向性...
提出了一种电磁激励、差分检测的谐振式MEMS压力传感器，该器件采用低电阻率的SOI器件层单晶硅制作“H”型谐振梁，并作为激励和检测电极。根据对传感器数学模型的分析，利用有限元分析方法优化了传感器结构设计。采用等离子深刻蚀制作传感器结构，并用湿法腐蚀SOI二氧化硅层的方法释放。利用硅-玻璃阳极键合技术，实现了传感器的圆片级真空封装。采用开环扫描检测和闭环自激振荡方式，测定压力传感器的特性。实验结果表...
两种结构MEMS磁场传感器的研究
磁场传感器 MEMS 洛仑兹力 谐振
2014/4/22
本文研究了两种结构的谐振式磁场传感器，检测在磁场作用下梁的振动幅度，来实现磁场的测量。首先介绍了传感器的工作原理，并用振动理论对传感器的受力及响应进行了分析，接着用有限元软件建立结构模型，对振动幅度进行了仿真。该MEMS磁场传感器采用标准的CMOS工艺加上后处理来实现。最后用多普勒仪对传感器的振动幅度进行测试，实验结果与理论分析一致，并对两种传感器性能进行比较。所研究的两种传感器结构简单，测试方便...
MEMS仿生矢量水听器封装结构的设计与研究
矢量水听器 封装 ANSYS Virtual.lab acoustic 仿生
2014/4/22
针对MEMS仿鱼侧线矢量水听器提出三种封装结构，即采用聚氨酯材料制成的透声帽封装结构，透声帽内衬笼状支撑体的封装结构，透声帽内衬瓣状支撑体的封装结构。采用ANSYS有限元建立三维封装模型并进行模态仿真，得出其固有频率分别为875Hz、2926Hz、3006Hz。采用Virtual.lab acoustic进行声衰减仿真并通过试验验证最终得出：内衬支撑体的封装结构，其有效带宽响应比无支撑体的透声帽封...
针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备，存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点，本文提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜，无需沉积分立电极，易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联，避免了非活跃区的寄生电容。通过Ansys及Matlab...
MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析
MEMS(微电子机械系统) 高量程加速度计 动态特性 霍普金森杆 镜像映射法
2014/4/23
利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准；采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理，求解出该传感器的幅频特性，绘制了对数幅频特性曲线；通过对比两种算法的结果知道，镜像映射法优于FFT算法，其算法简单有效，能直接辨识出系统模型参数和模型阶次。