方略学科导航

搜索结果: 1-1 共查到“电磁学 SOI”相关记录1条 . 查询时间(0.031 秒)

基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究微电子机械系统谐振式压力传感器绝缘体上硅差分检测阳极键合 2014/4/18

提出了一种电磁激励、差分检测的谐振式MEMS压力传感器，该器件采用低电阻率的SOI器件层单晶硅制作“H”型谐振梁，并作为激励和检测电极。根据对传感器数学模型的分析，利用有限元分析方法优化了传感器结构设计。采用等离子深刻蚀制作传感器结构，并用湿法腐蚀SOI二氧化硅层的方法释放。利用硅-玻璃阳极键合技术，实现了传感器的圆片级真空封装。采用开环扫描检测和闭环自激振荡方式，测定压力传感器的特性。实验结果表...